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半导电薄膜有哪些

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半导电薄膜有哪些

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    2018-11-17 01:43:31
  • 半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜。
    半导体薄膜主要有外延生长的Si单晶薄膜和CVD生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜。
    绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。
    金属薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜。
    工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜。

    何***

    2018-11-17 01:43:31

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