简述光刻的工艺过程（步骤）
1. wafer 表面处理；2. 旋涂光刻胶（包括抗反射层）3. 前烘；4. 曝光；5. 后烘；6. 显影，有的需要在显影前进行坚膜；7. 刻蚀
王***
2017-10-12 15:17:00
问：模具设计中的模具排气系统有什么作用？
答：详情>>
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