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抽真空结构是什么?有哪些重要部件必须安装在抽真空系统里?

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抽真空结构是什么?有哪些重要部件必须安装在抽真空系统里?


        

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  • 2010-03-18 07:58:52
        用于满足某种工艺要求,能够获得并测量有特定要求真空度的系统称真空系统。一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、及其它真空元件及电气控制系统构成。1. 真空室放气阀2. 电离真空规3. 热偶真空规4. 流量调节阀5. 高真空阀6. 扩散泵7. 储气罐8. 热偶规管( 测扩散泵前级压力) 9. 前级真空阀10. 压力传感器11. 预抽阀12. 罗茨真空泵13. 旁通阀14. 电磁放气阀15. 机械真空泵
    典型的真空系统如图1及图2所示。
    图见真空技术网: 
    

    晓***

    2010-03-18 07:58:52

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