质谱界面分析适用于哪些方面的检测？
质谱界面分析是研究样品内部某一界面（相界或晶界等）组分变化及元素分布状态的一种二次离子质谱分析法。通过高能量一次离子束对样品不断剥离达到待测界面，然后用聚焦离子束对界面进行逐点分析或离子图像观察。适用于对薄膜工艺、无机非金属材料、玻璃缺陷、微波器和集成光学器件的检测。
冬***
2016-08-31 09:04:29
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