什么是籽晶？单晶硅生产对籽晶有哪些要求？
籽晶其实就是生长单晶硅的种子，它是用单晶硅棒切割而成的一根细长的小棍，其截面大多是矩形的，也有圆形的，如2-5所示，因此籽晶就是单晶硅。作为籽晶用的单晶硅，位错应尽量少，一般要求位错密度小于1000个/cm2。这样有利于生长出低位错或无位错单晶硅。同时，切籽晶用的单晶硅电阻率与产品单晶硅的电阻率相似，或高于产品单晶硅的电阻率。切割好的籽晶表面不应有严重的机械损伤，也不宜过分粗糙。籽晶的晶向要满足产品的要求，晶向偏离的度数应符合拉晶的要求。
你***
2018-02-13 12:25:27
问：单晶硅的生产
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